KLA mendesain dan memproduksi sistem manajemen yield dan pemantauan proses serta diagnostik untuk industri manufaktur semikonduktor. Sistem ini digunakan untuk menganalisis proses manufaktur pada berbagai langkah dalam pengembangan semikonduktor. Produk pemindaian laser milik perusahaan ini digunakan untuk kualifikasi wafer, pemantauan proses, dan pemantauan peralatan. KLA juga menyediakan alat dan sistem inspeksi untuk metrologi optik dan metrologi e-beam.